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硅片擴(kuò)散超聲波清洗機(jī)
LC硅片超聲波清洗機(jī)
硅片超聲波清洗機(jī)硅片擴(kuò)散超聲波清洗機(jī)該設(shè)備用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機(jī)共有六種清洗方式可供選擇,清洗程序?yàn)榧兯逑?、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗(HF)、純水清洗
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硅片超聲波清洗機(jī) 概述:
該設(shè)備用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機(jī)共有六種清洗方式可供選擇,清洗程序?yàn)榧兯逑?、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗(HF)、純水清洗。其工藝性能指標(biāo)及可靠性*達(dá)到進(jìn)口同類設(shè)備水平,但價(jià)格、售后服務(wù)、備品備件的供給等是進(jìn)口設(shè)備*的。
硅片超聲波清洗機(jī) 主要特點(diǎn):
·采用進(jìn)口PP板制作。
·適用2-6寸硅片清洗。
·超聲功率強(qiáng)勁,性能穩(wěn)定。
·超聲波采用效率高發(fā)生器,功率可調(diào)。
·采用高頻超聲波頻率。
·慢拉脫水、循環(huán)熱風(fēng)干燥方式,替換傳統(tǒng)的溶劑脫水,既安全又環(huán)保。
·設(shè)有循環(huán)過濾系統(tǒng)。
·多槽超聲波清洗工藝,保證清洗效果。
硅片超聲波清洗機(jī) 的超聲波強(qiáng)的洗凈作用,是以超過人類聽覺聲頻以上的波動(dòng)在液體中傳導(dǎo)。當(dāng)聲波在洗劑中傳播時(shí),由于聲波是一種傳播,縱波推動(dòng)介質(zhì)的作用會(huì)使液體中壓力變化而產(chǎn)生無數(shù)微小真空泡,稱之為“空穴效應(yīng)”。
當(dāng)氣泡受氣壓爆破時(shí),會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)大的沖擊能,可將固著在物件死角內(nèi)的污垢打散,并增強(qiáng)洗凈的洗凈效果,由于超聲波偏離高波長(zhǎng)短,穿透力強(qiáng),因此對(duì)有隱蔽細(xì)縫或復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗物,可以達(dá)到良好的洗凈效果。
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